"Жесткая" работа двигателя Опции

[Spider73]

Недавно стал замечать, что двигатель стал работать "жестче", появилась небольшая вибрация при подгазовке, обороты падают на холостых не плавно вниз, например газ до 2500, обороты падают до 1200-1300, поднимаются до 1500 и через секунду-две опускаются до 800. И на холостых, на минимальных оборотах вибрирует, не сильно, но раньше работал ровнее. Обороты не гуляют. Потери мощности не заметил.
Пробег 60000 км. Промыл датчик холостого хода, дроссельную заслонку.
На диагностику? Или поискать причину можно самому, с вашей помощью?